PINUS1-B

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

形貌:曲驱电机构造,全新的IO模块,具有先辈的防地碰撞庇护功用及输入旌旗灯号干硬件中断功用,具有SEMI认证。满意个性化设想撑持用户定制,手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制效劳。

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简介

曲驱电机构造具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带对等部件,体系运转的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户能够按照需求设置成互锁,传感器检测对等功用。输入旌旗灯号干硬件中断功用,方便客户设置AWC对等位置锁故意功用使用。带有安全区设置功用安然静活络的碰撞庇护功用,削减用户误操纵导致的各类丧失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试职员用,并撑持热插拔功用。能够按照客户使用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴路程,耐高温耐烦腐化特性对等。

参数

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