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Pre-Aligner预瞄准机SALN-612A-2V

关键字导读: TRACK ETCH CVD PVD MOCVD

形貌:定位精度高峻,瞄准速率欢愉,网络化控制器,适用于Notch安然静Flat缺口范例,接纳真空亏压吸附。

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简介

晶圆预敌准是晶周遭搬运和部IC制造历程中的主要环节,晶周遭的定位取辨认都需求Pre-aligner的到。晶圆预瞄准的目标事计较晶周遭的偏心并找到此缺口,进而抵偿此偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶周遭辨认或处理做好筹办。新紧Pre-Aligner具有定位粗高峻、瞄准速率欢愉对等长处,大大收缩了晶周遭的传输取处理工夫,进步了晶周遭的消费服从。

参数

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